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除上述輸入輸出繼電器外，其余的均屬內部繼電器。 內部繼電器實質上是一些存儲器單元，它們不能直接控制外部負載，只能在PLC內部起各種控制作用，或直接受外部信號控制。在梯形圖中它們也可用線圈和觸點來表示，線圈的狀態由邏輯關系控制，觸點相當于讀繼電器的狀態，因此可在梯形圖程序中被無限次使用。CPM1A系列PLC的內部繼電器及其通道號表示可分為以下幾類：
（1）內部輔助繼電器（AR） 內部輔助繼電器的作用是在PLC內部起信號的控制和擴展作用，相當于接觸繼電器線路中的中間繼電器。CPM1A機共有512個的內部輔助繼電器，其編號為20000~23115，所占的通道號為200CH~231CH。內部輔助繼電器沒有掉電保持狀態的功能。
（2）暫存繼電器（TR） 暫存繼電器用于具有分支點的梯形圖程序的編程，它可把分支點的數據暫時貯存起來。CPM1A型機提供了8個暫存繼電器，其編號為TR0~TR7，在具體使用暫存繼電器時，其編號前的“TR"一定要標寫以便區別。TR繼電器只能與LD，OUT指令聯用，其他指令不能使用TR作數據位。
（3）保持繼電器（HR） 保持繼電器用于各種數據的存儲和操作，它具有停電記憶功能，可以在PLC掉電時保持其數據不變。保持作用是通過PLC內的鋰電池實現的。保持繼電器的用途與內部輔助繼電器基本相同。CPM1A系列PLC中的保持繼電器共有320個，其編號為HR0000~HR1915，所占的通道號為HR00~HR19。在編程中使用保持繼電器時，除了標明其編號外，還要在編號前加上“HR"字符以示區別，例如“HR0001"。
（4）定時/計數器（TIM/CNT） 在CPM1A系列PLC中提供128個定時/計數器，使用時，某一編號只能用作定時器或計數器，不能同時既用作定時器又用作計數器，如已使用了TIM001，就不能再出現CNT001，反之亦然。
此外，在CPM1A系列PLC中，對于上述繼電器編號，也可以用來進行高速定時（又稱高速定時器TIMH）和可逆計數（又稱可逆計數器CNTR），它們在使用時需要用特殊指令代碼來。
（5）內部專用繼電器（SR） 內部專用繼電器用于監視PLC的工作狀態，自動產生時鐘脈沖對狀態進行判斷等。其特點是用戶不能對其進行編程，而只能在程序中讀取其觸點狀態。
CPM1A系列PLC中常用的15個專用繼電器及它們的具體編號和功能如下：
25200繼電器：高速計數復位標志（軟件復位）。
25208繼電器：外設通訊口復位時僅一個掃描周期為ON，然后回到OFF狀態。
25211繼電器： 強制置位/復位的保持標志。在編程模式與監視模式互相切換時，ON為保持強制置位/復位的接點；OFF為解除強制置位/復位的接點。
25309繼電器：掃描時間出錯報警。當PLC的掃描周期超過100s時，1809變ON并報警，但CPU仍繼續工作；當PLC的掃描周期超過130s時，CPU將停止工作。
25313繼電器：常ON繼電器
25314繼電器：常OFF繼電器
25315繼電器：第一次掃描標志。PLC開始運行時，25315為ON一個掃描周期，然后變OFF。
25500~25502繼電器：時鐘脈沖標志。這3個繼電器用于產生時鐘脈沖，可用在定時或構成閃爍電路。其中，25500產生0.1s脈沖（0.05sON／0.05sOFF），在電源中斷時能保持當前值；25501產生0.2s脈沖(0.1sON／0.1sOFF)，具有斷電保持功能；25502產生1s脈沖(0.5sON／0.5sOFF)，具有斷電保持功能。
25503~25507繼電器：這五個繼電器為算術運算標志。其中，25503為出錯標志，若算術運算不是BCD碼輸出時，則25503為ON；25504為進位標志CY，若算術運算結果有進位/錯位時，則25504為ON；25505為大于標志GR，在執行CMP指令時，若比較結果“＞"，則25505為ON；25506為相等標志EQ，在執行CMP指令時，若比較結果“＝"，則25506為ON；25507為小于標志LE，在執行CMP指令時，若比較結果“＜"，則有25507為ON。
（6）數據存儲繼電器（DM） 數據存儲繼電器實際是RAM中的一個區域，又稱數據存儲區（簡稱DM區）它只能以通道的形式訪問。CPM1A系列PLC提供的讀/寫數據存儲器尋址范圍為DM0000~DM1023（共1023字），只讀數據存儲器尋址范圍為DM6144~DM6655（共512字）。編程時需要在通道號前標注“DM"，DM區具有掉電保持功能

各高速計數器不同的輸入端有專用的功能，如：時鐘脈沖端、方向控制端、復位端、起動端。

注意：同一個輸入端不能用于兩種不同的功能。但是高速計數器當前模式未使用的輸入端均可用于其他用途，如作為中斷輸入端或作為數字量輸入端。例如，如果在模式2中使用高速計數器HSC0，模式2使用I0.0和I0.2，則I0.1可用于邊緣中斷或用于HSC3。

2. 高速脈沖輸出占用的輸出端子
S7-200有PTO、PWM兩臺高速脈沖發生器。 PTO脈沖串功能可輸出個數、周期的方波脈沖（占空比50%）；PWM功能可輸出脈寬變化的脈沖信號，用戶可以脈沖的周期和脈沖的寬度。若一臺發生器給數字輸出點Q0.0，另一臺發生器則給數字輸出點Q0.1。當PTO、PWM發生器控制輸出時，將禁止輸出點Q0.0、Q0.1的正常使用；當不使用PTO、PWM高速脈沖發生器時，輸出點Q0.0、Q0.1恢復正常的使用，即由輸出映像寄存器決定其輸出狀態。PLC中斷程序的概念及建立中斷程序的方法